牛津仪器Asylum Research原子力显微镜助力薄膜沉积和刻蚀工艺发展 2015年9月2日

在材料科技中，薄膜无处不在，其应用范围非常广泛：上至独特的新生代材料（如铁电数据存储），下至日常用品（如食品包装）。由于薄膜固有尺寸（厚度、粒度、晶块尺寸等）的限定及其对性能高度依赖的特点，因此需要具有纳米级分辨率的设备对其进行表征测量。原子力显微镜（AFM）长期以来被用于测量薄膜的粗糙度和均匀度，如今这仍然是原子力显微镜最常用的测量用途之一。随着材料变得越来越复杂，原子力显微镜的运用也越来越多注重功能性，包括机械特性、电子特性、电子机械特性和磁特性等。牛津仪器Asylum Research发布的题为《原子力显微镜薄膜表征：高分辨率形貌和功能特性》的应用手册描述了Asylum Research原子力显微镜在该领域的多种应用方式，并包含若干实例，阐述了如何采用原子力显微镜直接获取薄膜材料表征，从而帮助薄膜材料的研究和开发。

下图：结构有序的热解石墨基材上的非平面Phthalocyanine膜结晶微区3D形貌图。Phthalocyanine作为有机半导体拥有潜在用途，25微米扫描。华威大学Luke Rochford供图。

牛津仪器将继续以支持中国科学研究发展为己任，为中国广大科研人员提供高性能、高可靠性的原子力显微镜设备等；同时牛津仪器的服务团队也可以为用户提供系列服务套餐，包括配件和耗材、延保合同、产品培训、服务维修和技术支持等。

更多原子力显微镜设备信息，请访问：

www.oxford-instruments.cn/asylumresearch  

销售热线：400 621 5191           

服务热线：400 622 5191

牛津仪器官方微信：